LINXON myRGA 四極質(zhì)譜分析儀：高性價比的真空氣體分析利器

由 INFICON 設計制造的 LINXON myRGA 四極質(zhì)譜分析儀，是面向普通真空與科研市場的高性價比殘余氣體分析設備，兼具高性能、易操作、低維護等多重特點，在檢漏、工藝氣體監(jiān)控等場景中表現(xiàn)亮眼，成為真空鍍膜、熱處理等領域的優(yōu)選分析儀器。

高性價比兼具精準性能是該設備的核心特點。作為主打高性價比的 RGA 產(chǎn)品，其以親民價格擁有極小的可檢測分壓強，EM 款可達 1.5E-14mbar，搭配＜1amu 的高分辨率與 3 毫秒的快速數(shù)據(jù)收集速率，能精準捕捉低含量氣體濃度與微小壓強變化。設備提供 100/200amu 兩種質(zhì)量數(shù)范圍可選，標配法拉第杯檢測器，也可選配電子倍增器，后者靈敏度更高，可滿足不同精度的氣體分析、污染檢測需求，溫度系數(shù)＜1%/℃，在復雜工況下仍能保持檢測數(shù)據(jù)穩(wěn)定。

模塊化設計讓維護與適配更便捷，大幅降低使用成本。傳感器采用創(chuàng)新雙燈絲設計，集成涂敷氧化釔的銥燈絲與鎢燈絲，可根據(jù)工況靈活選擇 —— 銥燈絲適配含氧過程，鎢燈絲適配含鹵素過程，有效延長燈絲壽命，備用燈絲還能保障設備最大上線時間。燈絲套件、離子源組件及電子倍增器均可現(xiàn)場快速更換，無需專業(yè)操作，更換燈絲套件即可替代傳統(tǒng) RGA 的整個離子源，大幅節(jié)約維護成本。同時傳感器可并行測量總壓強，實現(xiàn)燈絲過壓保護，進一步提升設備使用安全性。

操作與集成簡單化，適配多場景使用需求。設備搭載機載網(wǎng)頁服務器，無需安裝軟件，通過網(wǎng)頁瀏覽器即可操作，支持 PC、平板、智能手機多終端訪問，界面會動態(tài)適配屏幕尺寸，操作門檻極低；隨機附贈 LabVIEW 軟件開發(fā)套件，可根據(jù)需求定制操作軟件，搭配 TCP/IP 以太網(wǎng)連接，輕松實現(xiàn)系統(tǒng)集成。設備還支持監(jiān)視器掃描、調(diào)諧、診斷等多模式切換，內(nèi)置檢漏功能，能快速定位真空系統(tǒng)泄漏問題，滿足多樣化的檢測需求。

此外，設備具備出色的環(huán)境適應性，最大烘烤溫度達 300℃，FC 款傳感器可在 200℃下工作，EM 款為 150℃，能適配真空鍍膜、低壓熱處理等高溫工業(yè)工況，且整機符合 RoHS 認證，傳感器與電子學設備可互換，進一步提升了設備的適配性與復用性。依托 INFICON 的專業(yè)制造工藝，該設備還擁有高平均故障間隔時間，低總體擁有成本的優(yōu)勢讓其成為真空氣體分析領域的高價值之選。