模塊化氦檢漏儀標(biāo)準(zhǔn)使用流程示例（ULVAC 愛(ài)發(fā)科模塊化機(jī)型，自動(dòng)化產(chǎn)線場(chǎng)景）

一、設(shè)備組成（模塊化拆分單元）

1. 氦檢主機(jī)模塊（HELIOT 檢測(cè)核心）

2. 干式真空泵組模塊（預(yù)抽真空）

3. 標(biāo)準(zhǔn)氣閥 / 分流管路模塊

4. 工控觸摸控制單元（外部總控，模塊無(wú)法單獨(dú)運(yùn)行）

   配套工裝：工件密封測(cè)試腔、氦氣噴xi qiang、標(biāo)準(zhǔn)漏孔校準(zhǔn)件

二、開機(jī)前準(zhǔn)備步驟

1. 模塊接線與氣路檢查

• 分別對(duì)接真空泵模塊、檢漏主機(jī)、閥組模塊的通訊線纜、真空管路；確認(rèn)各模塊接口密封圈無(wú)破損。

• 連接外部工控總控，單獨(dú)模塊無(wú)操作面板，所有參數(shù)只能在總控屏設(shè)置。

• 接入壓縮空氣（0.5~0.7MPa）、氦氣儲(chǔ)罐，確認(rèn)氣路無(wú)泄漏。

2. 工裝與工件安裝

   將待測(cè)工件（如電池殼體、空調(diào)管路）固定至密封測(cè)試工裝，閉合腔體鎖扣，保證腔體wan quan密封。

3. 參數(shù)預(yù)設(shè)（外部總控操作）

   總控界面設(shè)置：抽氣時(shí)間、檢漏等待時(shí)間、判定漏率閾值、排氣時(shí)長(zhǎng)；調(diào)用對(duì)應(yīng)產(chǎn)品檢測(cè)程序模板。

三、完整自動(dòng)檢漏流程（標(biāo)準(zhǔn)節(jié)拍示例）

步驟 1：預(yù)抽真空階段（真空泵模塊獨(dú)立工作）

步驟 2：模式切換，檢漏待機(jī)

步驟 3：噴吹 / 充氦檢漏檢測(cè)

1. 噴吹法（外側(cè)檢漏）：人工 / 自動(dòng)機(jī)械手使用氦qi qiang，沿工件焊縫、接頭處勻速噴吹氦氣；若工件存在漏孔，氦氣進(jìn)入真空腔，檢漏模塊捕捉氦信號(hào)。

2. 充氦法（內(nèi)腔檢漏）：閥組模塊向工件內(nèi)部充入定量氦氣，外部腔體抽真空，檢測(cè)逸出氦氣濃度。

   總控實(shí)時(shí)顯示瞬時(shí)漏率曲線，模塊化系統(tǒng)可同步采集多工位數(shù)據(jù)。

步驟 4：合格判定與排氣復(fù)位

1. 若實(shí)測(cè)漏率＜設(shè)定閾值：總控判定 OK，界面亮綠燈，閥組模塊執(zhí)行腔體破真空排氣；

2. 若漏率超標(biāo)：判定 NG，聲光報(bào)警，系統(tǒng)自動(dòng)保存漏率數(shù)據(jù)、記錄工件編號(hào)，便于追溯。

3. 排氣完成后，工裝自動(dòng)開蓋，取出工件，進(jìn)入下一輪循環(huán)。

四、模塊化設(shè)備單獨(dú)維護(hù)操作示例

1. 真空泵模塊保養(yǎng)：產(chǎn)線不停機(jī)，斷開真空泵模塊通訊、管路，單獨(dú)拆卸更換濾芯；檢漏主機(jī)、閥組模塊保持在線，其余工位持續(xù)生產(chǎn)。

2. 檢漏主機(jī)校準(zhǔn)：僅停機(jī)檢測(cè)模塊，真空泵、閥組正常工作，使用標(biāo)準(zhǔn)漏孔單點(diǎn)校準(zhǔn)傳感單元。

3. 閥組更換：?jiǎn)我浑姶砰y損壞，僅更換閥組模塊內(nèi)對(duì)應(yīng)閥體，無(wú)需拆解整套真空管路。

五、離線簡(jiǎn)易手動(dòng)操作示例（調(diào)試場(chǎng)景）

1. 在外部總控切換「手動(dòng)調(diào)試模式」，可單獨(dú)控制任一模塊動(dòng)作：?jiǎn)为?dú)啟停真空泵、單獨(dú)開啟檢漏、單獨(dú)開關(guān)閥組；

2. 單點(diǎn)測(cè)試：?jiǎn)为?dú)啟動(dòng)檢漏模塊，手持標(biāo)準(zhǔn)漏孔貼近檢測(cè)口，驗(yàn)證設(shè)備檢測(cè)精度；

3. 多工位拓展調(diào)試：新增一套閥組 + 真空泵模塊接入總控，1 臺(tái)工控同步控制 2 套檢漏單元，實(shí)現(xiàn)雙工位并行檢測(cè)。

六、操作注意事項(xiàng)（模塊化te you 要點(diǎn)）

1. ?? 禁止脫離外部總控單獨(dú)啟動(dòng)單個(gè)模塊，無(wú)控制系統(tǒng)保護(hù)易造成真空過(guò)載、模塊損壞；

2. 模塊拆裝后，必須在總控內(nèi)重新匹配通訊地址，否則各模塊無(wú)法聯(lián)動(dòng)；

3. 多模塊并行產(chǎn)線，定期檢查模塊間通訊線纜，接口松動(dòng)會(huì)導(dǎo)致抽氣、檢漏節(jié)拍紊亂；

4. 便攜場(chǎng)景不適用：模塊化分體結(jié)構(gòu)無(wú)法移動(dòng)單機(jī)檢測(cè)，現(xiàn)場(chǎng)上門檢漏優(yōu)先選用獨(dú)立一體式檢漏儀