英?？祻?fù)合真空計

英?？嫡婵沼嫞?/strong>英?？祻?fù)合真空計的優(yōu)點好處

從 5 x 10-10 mbar 至大氣氣壓（3.8 x 10-10 Torr 至大氣氣壓）的極其寬泛的測量范圍

在 10-8 ...10-2 mbar 5% 工藝壓力范圍內(nèi)為表現(xiàn)出優(yōu)秀的重復(fù)性

皮拉尼聯(lián)鎖保護(hù) Bayard-Alpert 系統(tǒng)在高壓操作下絲極過早燒毀和過度污染

長使用壽命氧化釔銥絲

備有可選的圖形顯示器和現(xiàn)場總線接口

高真空皮拉尼自動調(diào)節(jié)，減少操作員的干預(yù)

符合 RoHS 標(biāo)準(zhǔn)

低真空至超高真空范圍內(nèi)的一般真空測量和控制

英?？祻?fù)合真空計的典型應(yīng)用

對半導(dǎo)體過程和傳輸腔室的壓力測量

工業(yè)鍍膜

低真空至超高真空范圍內(nèi)的一般真空測量和控制

英?？嫡婵沼?/span>的操作步驟與注意事項可歸納如下：  

1.安裝與連接  

接口匹配：根據(jù)型號選擇適配的真空接口，確保密封件（O型圈、墊片）無老化或變形，連接時避免過壓（如KF法蘭最大承壓2.5巴）。  

電纜要求：傳感器電纜長度≤50米，需屏蔽處理，電源需符合SELV安全標(biāo)準(zhǔn)（15-30VDC，紋波≤1Vpp），并配備保險絲（≤1A）。  

系統(tǒng)連接：真空計需與真空泵、閥門等系統(tǒng)組件串聯(lián)，抽真空之前需預(yù)抽排除雜質(zhì)，避免油氣污染傳感器。  

2.啟動與校準(zhǔn)  

開機(jī)初始化：長按電源鍵切換單位（帕、毫巴、托等），使用需在特定壓強(qiáng)下校準(zhǔn)。  

零點校準(zhǔn)：使用“歸零"按鈕或數(shù)字接口進(jìn)行自動校準(zhǔn)，確保測量精度（如皮拉尼傳感器精度±15%讀值）。  

預(yù)熱與穩(wěn)定：部分型號（如電容薄膜真空計）需預(yù)熱10-30分鐘，待數(shù)值穩(wěn)定后記錄。  

3.測量操作  

壓強(qiáng)范圍控制：根據(jù)型號選擇合適量程，避免超量程使用導(dǎo)致?lián)p壞。  

實時監(jiān)測：觀察顯示屏數(shù)值變化，若出現(xiàn)驟升（如漏氣）或異常波動，需立即停機(jī)檢查系統(tǒng)密封性（可用氦質(zhì)譜檢漏儀檢測）。  

單位切換：通過按鍵或數(shù)字接口切換單位（帕、毫巴、托、大氣壓等），支持四種單位循環(huán)切換。  

4.維護(hù)與存儲  

日常維護(hù)：定期清潔傳感器，避免水銀污染（麥?zhǔn)险婵沼嬓璞３炙y純度），更換老化密封件，每3-6個月用標(biāo)準(zhǔn)真空源校準(zhǔn)。  

存儲條件：直立放置于干燥、避光、無腐蝕性氣體環(huán)境（溫度5-35℃，濕度≤60%），長期不用時每月通電預(yù)熱30分鐘防潮。  

安全防護(hù)：運輸時嚴(yán)防倒置（防汞倒流），操作時避免劇烈震動，禁止在高壓下啟動高靈敏度傳感器。  

維護(hù)與故障處理  

日常維護(hù)  

清潔：定期用干凈氣體吹掃傳感器，避免粉塵或油污污染。  

濾芯更換：等便攜式型號需定期更換過濾件，防止傳感器堵塞。  

校準(zhǔn)周期：高精度應(yīng)用建議每月校準(zhǔn)，常規(guī)使用每季度檢查零點漂移。  

常見故障排除  

讀數(shù)異常：檢查管道密封性、傳感器電纜連接，或重新校準(zhǔn)。  

傳感器損壞：若顯示“CLEANGAUGE"，需拆卸并使用有機(jī)溶劑清洗；若燈絲熔斷，需更換傳感器單元。  

電源問題：更換電池或檢查輸入電壓是否在額定范圍內(nèi)。  

英?？嫡婵沼嫲踩⒁馐马? 

氣體兼容性  

避免測量易燃易爆氣體（如氫氣），部分型號僅適用于空氣、氮氣等惰性氣體。  

腐蝕性環(huán)境需選擇陶瓷涂層傳感器）。  

操作規(guī)范  

高壓場景（>1000mbar）需確保連接牢固，防止管道爆裂。  

維修時需斷開電源，非專業(yè)人員勿拆卸內(nèi)部電路。